Vakuový lakovací stroj je zařízení, které nanáší tenké kovové filmy na povrch substrátu. Jeho základní pracovní princip je rozdělen do tří kroků: čištění, odpařování a depozice.
1. Čištění
Před odpařovací depozicí je třeba vyčistit odpařovací komoru. Protože se na povrchu odpařovací komory mohou nacházet oxidy, mastnota, prach a další látky, ovlivňují kvalitu fólie. K čištění se obvykle používají chemické nebo fyzikální metody.
2. odpařování
Požadovaný materiál se zahřeje nad jeho bod tání, takže tvoří molekuly plynu. Molekuly plynu pak unikají ve vakuové komoře do odpařovací komory. Tento proces se nazývá vypařování. Teplota, tlak a rychlost odpařování ovlivňují složení, strukturu a vlastnosti filmu.
3. Depozice
Plynné molekuly materiálu v odpařovací komoře vstupují do reakční komory přes vakuové potrubí, reagují s aktivním materiálem a poté ukládají produkt na povrch substrátu. Tento proces se nazývá sedimentace. Teplota, tlak a rychlost nanášení také ovlivňují kvalitu a výkon fólie.
2. Aplikace
Vakuové lakovací stroje jsou široce používány ve vědě o materiálech, optice, elektronice a dalších oborech.
1. Nauka o materiálech
Vakuové lakovací stroje mohou připravovat tenké filmy z různých kovů, slitin, oxidů, silikátů a dalších materiálů a jsou široce používány v povlakech, optických filmech, optických úložištích, displejích, tranzistorech a dalších oborech.
2. Optika
Vakuový lakovací stroj dokáže připravit kovové a slitinové filmy s vysokou odrazivostí a optické filmy se speciálními funkcemi. Tyto fólie lze použít v solárních panelech, vysoce výkonných elektronových mikroskopech, aerogelech, UV/IR senzorech, optických filtrech a dalších oborech.
3. Elektronika
Vakuové lakovací stroje mohou připravovat elektronické materiály v nanoměřítku a mikroelektronická zařízení. Tyto fólie lze použít v nanotranzistorech, magnetických pamětech, senzorech a dalších oborech.
Vakuový lakovací stroj zkrátka umí nejen připravovat různé tenkovrstvé materiály, ale podle potřeby připravovat i tenké filmy se speciálními funkcemi. V budoucnu bude technologie vakuového nanášení více využívána a propagována.
Čas odeslání: 12. března 2024